CO2-SENSOR

Entwicklung von hochauflösenden CO₂-Sensoren

Projekt

Koordination:
Prof. Dr. Ralf Dudde
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT)

Partner:
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT)

Um atmosphärische Spurengase nachweisen zu können, werden oft infrarot-spektroskopische Verfahren verwendet. Obwohl solche Verfahren bereits seit langem erfolgreich zum Beispiel in Forschungsflugzeugen eingesetzt werden, bieten sie in Bezug auf die Vereinfachung der Handhabung, die Verbesserung der Messgenauigkeit und die Miniaturisierung der Sensoren noch erhebliches Potential. Photometrische Verfahren scheinen hier aufgrund des einfachen Aufbaus im Vergleich zu dispersiven Verfahren für eine weitere Miniaturisierung geeigneter. Ziel des Projektes ist es, eine direkt modulierbarem breitbandige IR-Quelle zu nutzen. Kernaufgaben dabei sind die Einführung neuer Herstellungsverfahren für die optischen Komponenten des Sensors und die Entwicklung eines geeigneten Aufbaus des Photometers, das eine möglichst hohe Kompatibilität zu bereits eingeführten Verfahren ermöglicht. Der Aufbau solcher neuartigen Mikro-Sensoren wird kostengünstige und flexibel einsetzbare Geräte ermöglichen, die in Netzwerken große Räume kontinuierlich überwachen können.

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